空氣彈簧隔振設計及性能分析
壓印光刻機是一種精密儀器，外部環境的刺激對壓印光刻機有很大的影響?？諝鈴椈墒且环N空氣彈簧器，利用空氣彈簧隔離外界環境對壓印光刻機的干擾，可以保護壓印光刻機免受低頻激振力的激發。文章闡述了壓印光刻機空氣彈簧低頻單自由度隔振系統的隔振原理，確定空氣彈簧的剛度和隔振系統的固有頻率，理論結果為隔振系統的固有頻率和隔振效率與實際隔振系統的實驗結果一致表明壓印光刻機低頻隔振設計合理可行。 空氣彈簧是一個由橡膠網制成的彎曲膠囊。膠囊的兩端需要用兩塊鋼板連接起來，形成一個壓縮空氣室。橡膠和網線本身不提供承載能力，而是通過填充到膠囊中的壓縮空氣來完成?？諝鈴椈墒且环N優秀的低頻隔振器，它依靠橡膠袋中壓縮空氣的壓力變化來達到所需的剛度。目前空氣彈簧廣泛應用于精密儀器、精密機械和特種設備的低頻隔振。 目前空氣彈簧的研究已經取得了一些成果。采用有限元法計算矩形空氣彈簧的垂直剛度，并將理論與實驗進行比較。兩者基本一致?？諝鈴椈傻某休d面積、承載力、體積、內壓和垂直剛度進行了力學分析。